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非标真空设备(图)

来源:信息发布     作者:信息发布人员     发布时间:2016年04月29日     浏览次数:         

  面向真空电子器件研制行业和半导体行业,针对性研发专用工艺设备。已定型产品包括超高真空排气台、真空热处理炉、高频钎焊台、磁控溅射台、空间环境模拟系统和等离子清洗设备。以性能和可靠性为主,兼顾易用性和外观设计,提供用户全套设备和工艺。拥有一支涵盖多学科的综合设计团队,可根据用户要求定制开发。

  关键技术指标及特点:

  极限真空度:≤5x10-9Pa(超高真空排气台)

  最高温度:2200℃(真空热处理炉)

  程控控制系统,全工艺过程自动控制

  运行数据采集记录